Mikrofluidik und MEMS Technologien

Die flexible Fertigung von speziellen MEMS Strukturen sowie von Mikrofluidik-Systemen wird nicht nur durch den vielfältigen Einsatz der Technologien, sondern auch durch den flexiblen Aufbau der Anlagen ermöglicht. Darüber hinaus bieten wir die Auswahl verschiedener Materialen an.

Wir fertigen Ihre Chips je nach Anforderung auf...

  • Wafergrößen: 100, 150 oder 200 mm
  • Waferdicken: 0,145-2 mm
  • Glassorten: z.B. Borosilikat, Fused Silica (synthetisches Quarzglas) und andere Substrate
  • Siliziumsorten: z.B. SOI oder DSOI

iX-factory ist Ihr erfahrener Partner sowohl für Glas- als auch Siliziumchips. Für beides bieten wir Ihnen anwendungsspezifisch die optimale Integrationsdichte.

Durch die Zusammenführung der einzelnen Prozessschritte und der Erfahrungen aus den unterschiedlichen Bereichen realisiert iX-factory die Fertigung des Mikrochips in flexiblen Stückzahlen. Für jede Problemstellung erhalten Sie eine Lösung. Verlassen Sie sich dabei auf die Kompetenz eines erfahrenen Partners.

Haben Sie Fragen oder Wünsche? Rufen Sie an: +49 (0) 231 47730 580