MEMS Devices

MEMS ist schon heute unverzichtbarer Bestandteil unseres Alltags. MEMS steht kurz für 'Mikroelektromechanische Systeme'.

Beschleunigungssensoren erhöhen die Sicherheit im Straßenverkehr, mikromechanische Pumpen dosieren hochgenau Medikamente, Drehraten- und Neigungssensoren bieten bei bewegungsgesteuertem Gaming Unterhaltung. Mikroelektromechanische Systeme vereinen auf mikroskopischer Ebene die Bereiche der Mechanik und Elektronik.

Dies macht einen einzigartigen Einsatz von MEMS als Aktoren oder Sensoren möglich.

MEMS Aktoren

MEMS Aktoren

  • MEMS Pico-Projektoren
  • MEMS Mikrofone
  • MEMS Mikromotoren
  • MEMS Mikroventile
  • MEMS Mikrospiegel

MEMS Sensoren

  • MEMS Beschleunigungssensor
  • MEMS Drehratensensor
  • MEMS Neigungssensor
  • MEMS Magnetfeldsensor
  • MEMS Drucksensor

Anwendungsbereiche auf einen Blick

Mobilfunk, Optik, Medizin- und Biotechnik

Erst durch die MEMS Technologie wurden neue innovative Systeme wie Oszillatoren und Filter für den Einsatz in der Signalverarbeitung im Mobilfunk oder Optik (Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems, MOEMS) sowie implantierbare Insulinpumpen, regulierbare Herzschrittmacher oder in-vitro-Analysesysteme für den Einsatz in der Medizin- und Biotechnik wirtschaftlich durchführbar.

Analysen

Weiterhin können mit BioMEMS Voruntersuchungen zur Wirksamkeit von Medikamenten, vor Ort Analysen per Lab-on-a-Chip oder Vitalüberwachungen durchgeführt werden. Den Einsatzbereichen der MEMS Technologien sind keine Grenzen mehr gesetzt. Stetig werden neue Anwendungsmöglichkeiten erschlossen.

Beschleunigungssensoren

Klassische MEMS Beschleunigungssensoren bzw. Drehratensensoren arbeiten nach dem Feder-Masse-System (comb drive) oder dem Stimmgabelprinzip. Beim ersten wird über die Bewegung der trägen Masse die Beschleunigung erfasst. Beim Stimmgabelprinzip werden die Schwingungen von Kammstrukturen mit Sensoren detektiert. Durch integrierte Weiterverarbeitung der elektromechanisch detektierten Signale in dem Sensor selbst können intelligente Sensoren (smart sensors) hergestellt werden, die immer mehr Funktionen in immer kleiner werdenden Bauteilen übernehmen.

Thermosensoren

Intelligente Thermosensoren erkennen in Smart-Home-Systemen, ob sich Menschen im Raum aufhalten und aktivieren die Beleuchtung. Diese Systeme können auch auf Klima-, Heizungs-, und Sicherheitssysteme erweitert werden und leisten so ihren Beitrag zum umweltbewussten und sparsamen Umgang mit Energieressourcen.

Messgeräte, Consumer Elektronik etc.

MEMS machen den Einsatz elektronischer Geräte  in Bereichen der Luft- und Raumfahrt zur Navigation, Sicherheits-, Mess-, Automobil-, Medizin- und Biotechnik sowie beim Sport, in der Logistik und Unterhaltung (Consumer Elektronik) deutlich smarter.

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