Integrierte Optik – MOEMS

Integrierte optische Systeme ermöglichen unter anderem die optische Signalauswertung durch miniaturisierte Linsensysteme unmittelbar am Chip. Durch die Analyse werden die Abschwächung bzw. die äußeren Einwirkungen minimiert und somit eine sensitivere Messung möglich gemacht.

Anwendungsbereiche

Anwendungsbereiche von MOEMS

  • Polarisatoren
  • Wellenleiter
  • Strahlteiler
  • Filter
  • Ring-Resonatoren
  • Linsen
  • Schalter
  • Verstärker
  • Optisch-parametrische Oszillatoren
  • Sensorfenster

Integrierte Optiken bieten eine hohe Funktionalität auf einem breiten Wellenlängenbereich – zum  Beispiel von 405 nm bis 2,35 µm. Es können verschiedene Komponenten gefertigt werden: Auch in einem Mikrofluidik System durch das Hinzufügen einer integrierten Optik – Realisierung einer Optofluidik – eröffnen neue Analysetechniken den Weg für die Realisierung innovativer Anwendungen.

Als Substrate dienen Quarzgläser wie Fused Silica, kostengünstigere Borosilikatgläser oder Silizium. Im Rahmen einer ZIM Projekt Förderung durch die AiF Projekt GmbH entwickelte Micronit einen speziellen Trockenätzprozess, der die Fertigung von Linsen oder Linsenarrays in Floatgläsern bzw. Borosilikatgläsern ermöglicht. Der Vorteil ist, dass diese Gläser mit Silizium anodisch gebondet werden können und dadurch die gezielte lokale Lichtbündelung bzw. -verstärkung erfolgen kann.

Micronit fertigt Linsen mit unterschiedlichen Abmessungen angepasst an Ihre individuellen Anforderungen. Die Linsen finden beispielsweise Anwendung in der Lasertechnologie, bei der Strahlenformung für Projektoren oder bei CCD-Sensoren in Kameras.

Integrierte Lichtwellenleiter

Für integrierte Lichtwellenleiter stehen verschiedene Technologien zur Verfügung. Die TriPleXTM Technologie ist eine neue Form von verlustarmen Wellenleitern für optische Signale bestehend aus mehrschichtigem Siliziumnitrid und Siliziumoxid. Es ist eine der drei am häufigsten verwendeten integrierten Optiken weltweit. Aufgrund ihrer Herstellungsweise lassen sich TriPleXTM Wellenleiter optimal in CMOS-Strukturen auf Silizium oder  Quarzglas integrieren.

Miniaturisierte Linsensysteme

Als Experten in der Miniaturisierung von Systemen, unterstützen wir Sie mit unserem Know-how bei der Entwicklung, Fertigung und Integration optischer Chips. Wir bieten Ihnen innovative Technologien im Bereich der Diagnostik, Messtechnik, Sensorik und Telekommunikation.

Haben Sie Fragen oder Wünsche? Rufen Sie an: +49 (0) 231 88 68 077